[发明专利]一种碳化硼陶瓷的制备方法在审

专利信息
申请号: 202010627023.0 申请日: 2020-07-02
公开(公告)号: CN111807841A 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 刘汝强;王殿春;李晓明;吴思华;周清波 申请(专利权)人: 山东国晶新材料有限公司
主分类号: C04B35/563 分类号: C04B35/563;C04B35/622
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 王素平
地址: 251200 山*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种碳化硼陶瓷的制备方法。该方法包括采用化学气相沉积,以氮气作为保护稀释气体,以甲烷和气态BCl3为反应气体,反应温度控制在1500~2000℃之间,压力控制在200~1000Pa之间,在基体模具上形成碳化硼陶瓷制品。本发明通过控制反应温度来获得对应密度的碳化硼材料,提高了材料性质的可控性。在较高温度下获得碳化硼密度可达2.5g/cm3。本发明碳化硼材料的纯度为99.95‑99.99%。
搜索关键词: 一种 碳化 陶瓷 制备 方法
【主权项】:
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