[发明专利]一种离子镀技术制备TiAlN涂层的颜色渐变控制方法在审
申请号: | 202010627152.X | 申请日: | 2020-07-02 |
公开(公告)号: | CN111593303A | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 张心凤;李灿民;夏正卫 | 申请(专利权)人: | 安徽纯源镀膜科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/54 |
代理公司: | 合肥九道和专利代理事务所(特殊普通合伙) 34154 | 代理人: | 时理想 |
地址: | 230000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供了一种离子镀技术制备TiAlN涂层的颜色渐变控制方法,该方法中所述离子镀技术选用多弧离子镀设备,在使用所述多弧离子镀设备制备TiAlN涂层时通过调整多弧离子镀设备的靶电流、工件负偏压、占空比、真空度、靶材厚度、靶面中心磁场或电磁线圈电流中的一个或多个参数来使TiAlN涂层的红色度发生改变从而实现TiAlN涂层颜色在深紫红色和淡紫红色之间进行渐变。该方法可以在TiAl靶材成分不变的条件下,控制TiAlN涂层进行颜色渐变,同时涂层硬度、耐高温、耐腐蚀性能好,且涂层加工摩擦阻力小,所述TiAlN涂层可以使用在装饰镀和某些工具镀对涂层的性能、颜色的多样性和均匀性要求较高的应用场合。 | ||
搜索关键词: | 一种 离子镀 技术 制备 tialn 涂层 颜色 渐变 控制 方法 | ||
【主权项】:
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