[发明专利]一种光电探测装置及其制造方法

摘要

本发明公开了一种光电探测装置及其制造方法，该光电探测装置包括：衬底，在所述衬底的顶部设置有波导层，所述波导层包括沿水平X轴方向设置的输入段波导和探测段波导；所述探测段波导层的末端为波导后端面；雪崩倍增探测区，其设置在所述探测段波导层之上，包括沿竖直Z轴方向依次设置的倍增层、吸收层和顶接触层；反射体，其沿水平X轴方向连接到所述波导后端面；其中，所述反射体由一维光子晶体、二维光子晶体或体块材料中的一种构成。本发明简化了光电探测装置中的反射体的设计结构，降低了制造成本；增强了光电探测装置的响应度，允许光电探测装置同时获得较高的响应度和较快的响应速度。