[发明专利]一种射流辅助的多脉宽激光晶锭剥离方法在审
| 申请号： | 202010633336.7 | 申请日： | 2020-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN111889895A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 王宏建;赵卫;朱建海;沈旋;何自坚;申漫漫 | 申请（专利权）人： | 松山湖材料实验室 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/402;H01L21/301;H01L21/302 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 刘晓敏 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射流辅助的多脉宽激光晶锭剥离方法，其包括激光加工系统以第一参数运行，将激光加工系统的激光束沿竖直方向聚焦在晶锭内部的第一平面上；控制激光束按预设的加工轨迹运动，直至在晶锭上以第一平面为中心加工出第一改质层；激光加工系统以第二参数运行，将激光加工系统的激光束沿竖直方向聚焦在晶锭内部的第二平面上，并控制激光束按预设的加工轨迹运动，同时开启射流装置，沿水平方向向晶锭的第二平面射出流体；射流装置继续运行，并绕晶锭的中轴旋转晶锭，直至在晶锭上以第二平面为中心加工出第二改质层。本发明主要解决晶锭剥离工序分散的问题；本发明的加工工艺连续，提高了晶锭剥离的加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射流 辅助 多脉宽 激光 剥离 方法 | ||
【主权项】：
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