[发明专利]一种旋转升降的化学机械研磨防溅罩有效
| 申请号： | 202010636922.7 | 申请日： | 2020-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN111890218B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 刘永 | 申请（专利权）人： | 林燕 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34;B24B41/02;B24B41/04;B24B47/12;B24B55/04;B24B57/02 |
| 代理公司： | 蓝天知识产权代理(浙江)有限公司 33229 | 代理人： | 郭亚银 |
| 地址： | 317500 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种旋转升降的化学机械研磨防溅罩，上支撑架的上端面低于研磨平台的上端面；上支撑架的底面上成型有同轴设置的圆环状的挡水环；上支撑架的内圆柱面上成型有内螺纹；旋转支撑座的外圆柱面上成型有与上支撑架的内螺纹配合的外螺纹；旋转支撑座的内圆柱面下端成型有同轴设置的圆环状的下支撑环；下支撑环上固定有防溅罩；防溅罩由上部的缩口部和下部的上窄下宽的漏斗状的下阻挡部组成；下阻挡部的上端开口的内径与缩口部的内径相同；缩口部的内径大于研磨平台的直径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 升降 化学 机械 研磨 防溅罩 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于林燕，未经林燕许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010636922.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
