[发明专利]单轴双光束发射装置及三轴双光束平行光调整系统、方法有效
申请号: | 202010640646.1 | 申请日: | 2020-07-06 |
公开(公告)号: | CN111811487B | 公开(公告)日: | 2023-06-09 |
发明(设计)人: | 张登伟;张智航;管宁;周一览;陈侃 | 申请(专利权)人: | 浙江大学;北京电子工程总体研究所 |
主分类号: | G01C15/00 | 分类号: | G01C15/00;G01H9/00;G02B27/62 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 郑海峰 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种单轴双光束发射装置及三轴双光束平行光调整系统、方法,属于光路平行关系检测及调整技术领域。本装置包括三轴双光束发射组件、三平面测试组件、信息采集模块和测试PC机;所述三平面测试组件的三个平面上均安装有PSD传感器阵列,所述三轴双光束发射组件位于三平面测试组件的一侧,三轴双光束发射组件发射的激光光束分别入射至每一个PSD传感器阵列上;所述的PSD传感器阵列通过信息采集模块与测试PC机连接。克服了传统的光束平行调整装置采用平行光管的局限性,能够进行三轴(X轴,Y轴,Z轴)双光束,共6路光的平行度测量,测量调整完毕后可以实现三轴双光束轴内平行,轴间正交。 | ||
搜索关键词: | 单轴双 光束 发射 装置 三轴双 平行 调整 系统 方法 | ||
【主权项】:
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