[发明专利]单片集成多轴MEMS传感器制成平台及其制造方法有效
| 申请号： | 202010645242.1 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN111649782B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 李磬 | 申请（专利权）人： | 江苏睦荷科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人： | 张悦 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单片集成多轴MEMS传感器制成平台及其制造方法，属于传感器制造领域。其技术方案要点是包括平台和多轴MEMS传感器，平台包括带有通气孔的石英基底，带有凹腔和支撑柱的双层SOI圆片，结构圆片，以及带有凹腔、贯穿硅通孔和金属引线的盖板圆片。石英基底、双层SOI圆片、结构圆片和盖板圆片从下至上通过粘合堆叠的方式逐层设置，多轴MEMS传感器包括陀螺仪、加速度计、压力传感器和温度传感器。本发明的优点在于多种传感器可以集成在一个平台上，以获得更小的器件尺寸和更低的成本，同时提高集成器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 单片 集成 mems 传感器 制成 平台 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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