[发明专利]具有高安全工作区的横向功率器件有效
申请号: | 202010645253.X | 申请日: | 2020-07-07 |
公开(公告)号: | CN111933687B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
发明(设计)人: | 孔谋夫;吴焕杰;许家玮;张丙可;黄柯;郭嘉欣;王彬 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/78;H01L29/739 |
代理公司: | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人: | 吴姗霖 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种具有高安全工作区的横向功率器件,属于半导体技术领域。该横向功率器件包括第一导电类型掺杂衬底、第二导电类型漂移区、第一导电类型阱区、高电位电极接触区、低电位电极和高电位电极,其特征在于,还包括由n个沟槽型栅电极隔离开的(n+1)个体区,n≥2,(n+1)个体区位于第二导电类型漂移区之内、且与第一导电类型阱区相邻,(n+1)个体区内设置不同掺杂类型的接触区。本发明提供的一种具有高安全工作区的横向功率器件,相较于传统器件,具有更优秀的饱和特性,具有高安全工作区。 | ||
搜索关键词: | 具有 安全 工作 横向 功率 器件 | ||
【主权项】:
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