[发明专利]激光热压加热吸嘴和器件焊接装置及热压复合加热方法有效
申请号: | 202010647130.X | 申请日: | 2020-07-07 |
公开(公告)号: | CN111702276B | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 王文;林佛迎 | 申请(专利权)人: | 深圳市微组半导体科技有限公司 |
主分类号: | B23K1/005 | 分类号: | B23K1/005;B23K3/04;H01L33/62;B23K101/40 |
代理公司: | 深圳正和天下专利代理事务所(普通合伙) 44581 | 代理人: | 杨波 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区松岗*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种激光热压加热吸嘴和器件焊接装置及热压复合加热方法,激光热压加热吸嘴包括吸头,吸头的端部设有透光孔,且激光束有效加热直径大于透光孔的孔径,以让通过透光孔的激光能直达吸头端部的待焊接器件并传导至焊盘,位于透光孔外圈的激光能对吸嘴加热,并经吸头端部的待焊接器件传导至焊盘。穿过透光孔的激光能量能直达待焊接器件,并传导至焊盘,透光孔外圈的激光能量则直接汇聚在吸嘴尖端部分对吸嘴进行加热,并经过热传导可以传导至待焊接器件及焊盘处,透光孔和尖端部分形成同轴激光能量跟热传导能量共同加热待焊接器件,可有效解决不同物体反射率差异而导致的加热稳定性问题。 | ||
搜索关键词: | 激光 热压 加热 器件 焊接 装置 复合 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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