[发明专利]一种基于三根敏感梁的变刚度微纳测头在审

专利信息
申请号: 202010647865.2 申请日: 2020-07-07
公开(公告)号: CN111707178A 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 罗晨珲 申请(专利权)人: 安徽理工大学
主分类号: G01B7/016 分类号: G01B7/016;H02N2/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 232001 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明涉及一种基于三根敏感梁的变刚度微纳测头,包括测球、测杆、中心体、电容上、下极板、传感器梁、敏感梁、约束支撑梁、压电驱动器、三角固定件、底座。所述测球粘接于测杆顶端;所述测杆圆锥段下表面粘接于中心体上表面中心处;所述电容传感器上极板粘接于传感器梁上表面;所述电容传感器下极板粘接于底座上表面;所述敏感梁一端粘接于中心体,另一端粘接于约束支撑梁中心处;所述约束支撑梁粘接于三角固定件;所述三角固定件焊接于底座;本发明可通过调整压电驱动器的输出位移大小,改变敏感梁所受挤压力,进而改变测头的刚度,可满足不同的测量过程和测量对象。
搜索关键词: 一种 基于 敏感 刚度 微纳测头
【主权项】:
暂无信息
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