[发明专利]超级势垒整流器的制备方法以及超级势垒整流器

摘要

本发明公开了一种超级势垒整流器的制备方法以及超级势垒整流器，所述制备方法包括：在衬底上形成外延层；在所述外延层上热生长场氧化层；在所述场氧化层上刻蚀有源区；在所述有源区中注入离子并推结形成P阱；在所述有源区中刻蚀沟槽，所述沟槽贯穿所述P阱；在所述沟槽的侧壁以及底部热生长栅氧层；在所述沟槽内淀积多晶硅；在所述有源区中的所述沟槽两侧形成P型体区；在所述P型体区表面以及所述多晶硅表面制作金属电极。本发明技术方案解决了高压超势垒整流器易发生穿通击穿的难题，为量产高压超势垒整流器提供了一个切实可行的方案。