[发明专利]一种液晶面板含铜叠层薄膜蚀刻液及其应用在审
| 申请号： | 202010651700.2 | 申请日： | 2020-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN111663138A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 徐帅;张红伟;李闯;胡天齐;钱铁民 | 申请（专利权）人： | 江苏和达电子科技有限公司;四川和晟达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18;C23F1/26;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 212212 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种液晶面板含铜叠层薄膜蚀刻液及其应用，所述蚀刻液包括主剂和辅剂，所述主剂和辅剂中金属铜缓蚀剂均为氨基咔唑类金属缓蚀剂。在本发明中选用氨基咔唑类金属缓蚀剂作为主剂和辅剂中的金属缓蚀剂，降低了产品成本，而且该类缓蚀剂使得蚀刻液对IGZO的电学性能无影响，蚀刻效果更好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液晶面板 含铜叠层 薄膜 蚀刻 及其 应用 | ||
【主权项】：
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