[发明专利]三维磁场探针台测试系统及测试方法在审
| 申请号： | 202010652985.1 | 申请日： | 2020-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN111766550A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张学莹;林冠屹;王麟 | 申请（专利权）人： | 致真精密仪器（青岛）有限公司;北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01R33/12 | 分类号： | G01R33/12;G01R33/00;G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京智绘未来专利代理事务所(普通合伙) 11689 | 代理人： | 赵卿;肖继军 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂山区松*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种三维磁场探针台测试系统及测试方法，三维磁场探针台测试系统包括：基座、三维电磁铁模块、样品承载模块、探针台模块、显微测量装置；三维电磁铁模块包括：三维电磁铁，磁铁桥架和励磁电源，三维电磁铁为五极电磁铁，包括一个垂直磁极和四个水平磁极或四极电磁铁，包括四个水平磁极；使用励磁电源同时为五个或四个磁极的线圈提供相应的电流同时获得包含水平方向和/或垂直方向组成的磁场、并且根据样品的几何尺寸，可以调整三维电磁铁的磁极之间的间距并选择样品台，最高可兼容24英寸样品进行测试，达到晶圆级样品测试探针台要求；本发明可实现三维磁场探针测试功能，满足较大样品的测试需求，稳定性高，并可以通过计算机软件自动控制。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 磁场 探针 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
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