[发明专利]一种磁场探针台测试系统及测试方法在审
| 申请号： | 202010652988.5 | 申请日： | 2020-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN111766551A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张学莹;林冠屹;王麟 | 申请（专利权）人： | 致真精密仪器（青岛）有限公司;北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01R33/12 | 分类号： | G01R33/12;G01R33/00;G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京智绘未来专利代理事务所(普通合伙) 11689 | 代理人： | 赵卿;肖继军 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂山区松*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种磁场探针台测试系统，其包括：用于减震、承载和固定其余部件的基座，用于放置样品的样品承载模块，用于在不同测试磁场环境下测试样品不同特性的探针模块，电磁铁模块，以及用于观测探针模块和样品并进行操作，采集图像数据的显微测量装置，所述电磁铁模块包括：磁铁桥架、励磁电源和多个可拆卸的电磁铁单元，磁铁桥架安装在基座上，用于固定电磁铁单元；多个可拆卸的电磁铁单元中的任意一个电磁铁单元可拆卸地安装在磁铁桥架上，用于在励磁电源的激励下产生磁场。所述磁场探针台测试系统使用可拆卸、可调节的电磁铁单元，可以灵活地生成一维或二维磁场，并能够对不同尺寸的样品进行兼容，达到晶圆级样品测试探针台要求，最高可达24英寸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁场 探针 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
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