[发明专利]一种激光能量在线监测与反馈控制系统及方法在审
申请号: | 202010653204.0 | 申请日: | 2020-07-08 |
公开(公告)号: | CN111765967A | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 尚凡杰;林杰;汤绍富;章鹏飞;潘登杲;杨敬树;徐康伟 | 申请(专利权)人: | 浙江富春江环保科技研究有限公司 |
主分类号: | G01J1/00 | 分类号: | G01J1/00 |
代理公司: | 杭州信义达专利代理事务所(普通合伙) 33305 | 代理人: | 陈继算 |
地址: | 311401 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光能量在线监测与反馈控制系统,包括在线监测装置、反馈控制装置和上位机。在线监测装置包括分束片和激光能量探头;分束片安装于原光路中,将原光路中分束为固定比例的主光路和副光路;激光能量探头对分束出来的副光路进行激光能量的检测;反馈控制装置包括恒温罩、铰接杆、凸轮、调节杆和复位机构,调节晶体的相位角调节;所述复位机构设置于恒温罩下方,为恒温罩提供压向凸轮的压力;上位机接收检测出的激光能量值,并发动驱动信号控制凸轮转动;本发明还公开了一种激光能量在线监测与反馈控制方法。本发明在不影响激光电离检测的同时获取激光能量值的实时变化。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 能量 在线 监测 反馈 控制系统 方法 | ||
【主权项】:
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