[发明专利]制造耐腐蚀涂覆物品的方法，耐腐蚀涂覆物品及其用途

摘要

本发明提供制造耐腐蚀涂覆物品的方法，耐腐蚀涂覆物品及其用途。本发明提供一种由异形基底制造耐腐蚀涂覆物品的方法，包括：在化学沉积的装置中，将保形第一涂层沉积在异形基底上，第一涂层作为第一金属化合物提供，以及在第一涂层的顶部上沉积作为第二金属化合物提供的第二涂层；在等离子体加工的装置中，将含卤素等离子体递送到异形基底上以产生耐腐蚀第三涂层；其中第三涂层由卤素掺杂的第二金属化合物组成。该方法使能够沉积三重涂层用于保护在等离子体加工设备诸如等离子体增强化学气相沉积(PECVD)装置或等离子体蚀刻器中使用的物品。