[发明专利]一种内嵌含能薄膜的自毁芯片及其制备方法在审
申请号: | 202010656256.3 | 申请日: | 2020-07-09 |
公开(公告)号: | CN111739850A | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 张剑;张庆明;焦纲领;王燕兰;张蕾;沈永福;张方;褚恩义;陈建华;韩瑞山 | 申请(专利权)人: | 中国人民解放军92228部队;中国兵器工业第二一三研究所 |
主分类号: | H01L23/34 | 分类号: | H01L23/34;H01L23/00;B81C1/00;B81B7/02 |
代理公司: | 北京科石知识产权代理有限公司 11595 | 代理人: | 徐红岗 |
地址: | 100072 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开提供了一种内嵌含能薄膜的自毁芯片及其制备方法。该芯片以待毁伤信息芯片为基底层,利用MEMS技术,依次将微加热器层、含能薄膜层集成制造在基底层上,该芯片可显著降低自毁芯片中含能材料装药量,提高使用安全性,同时通过进一步使用耐高温含能材料以及低温封装技术,可确保含能薄膜以及自毁芯片的应用性能在各种恶劣环境下不退化,并增加芯片的散热能力、机械性质与物理性质。 | ||
搜索关键词: | 一种 内嵌含能 薄膜 自毁 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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