[发明专利]一种内嵌含能薄膜的自毁芯片及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010656256.3 申请日: 2020-07-09
公开(公告)号: CN111739850A 公开(公告)日: 2020-10-02
发明(设计)人: 张剑;张庆明;焦纲领;王燕兰;张蕾;沈永福;张方;褚恩义;陈建华;韩瑞山 申请(专利权)人: 中国人民解放军92228部队;中国兵器工业第二一三研究所
主分类号: H01L23/34 分类号: H01L23/34;H01L23/00;B81C1/00;B81B7/02
代理公司: 北京科石知识产权代理有限公司 11595 代理人: 徐红岗
地址: 100072 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本公开提供了一种内嵌含能薄膜的自毁芯片及其制备方法。该芯片以待毁伤信息芯片为基底层,利用MEMS技术,依次将微加热器层、含能薄膜层集成制造在基底层上,该芯片可显著降低自毁芯片中含能材料装药量,提高使用安全性,同时通过进一步使用耐高温含能材料以及低温封装技术,可确保含能薄膜以及自毁芯片的应用性能在各种恶劣环境下不退化,并增加芯片的散热能力、机械性质与物理性质。
搜索关键词: 一种 内嵌含能 薄膜 自毁 芯片 及其 制备 方法
【主权项】:
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