[发明专利]用于测试互连键合部的设备和方法在审
| 申请号： | 202010656412.6 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN113933180A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 宋景耀;李锐丰;陈建敏;吴茂发;陈健佳 | 申请（专利权）人： | 先进科技新加坡有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/24 | 分类号： | G01N3/24;G01N3/08;G01M13/00;G01M5/00 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 艾晶 |
| 地址： | 新加坡义*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于测试电子器件的键合强度的互连键合部测试设备，该电子器件包括至少一个附接至所述电子器件的互连键合部。所述互连键合部测试设备具有定位机构以及安装至该定位机构上的测试工具组件。测试工具组件被构造为推动互连键合部的第一部分并提拉互连键合部的第二部分，定位机构操作以在测试中将所述测试工具组件与所述互连键合部对齐，并且向互连键合部的第一部分施加推力以及向互连键合部的第二部分施加拉力。所述互连键合部测试设备具有夹具，该夹具包括其上安装的至少一个力感测元件。该至少一个力感测元件被构造为在与测试工具组件接合时向测试工具组件施加阻力。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 互连 键合部 设备 方法 | ||
【主权项】：
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