[发明专利]一种周期性多方向厚度梯度薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202010657263.5 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN111910149A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 余森江;李会华;卢晨曦;李领伟 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/34;C23C14/18 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏;薄盈盈 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明涉及薄膜材料技术领域，尤其涉及一种周期性多方向厚度梯度薄膜的制备方法，包括以下步骤：将掩模板悬空固定于基底上方，放入溅射仪的真空腔内，将靶材固定于阴极上，基底置于正对靶面的阳极上，抽真空后，通入惰性气体，采用溅射法制备周期性多方向厚度梯度薄膜；所述掩模板与基底的距离为h；所述掩模板具有网孔，所述网孔的尺寸记为 |
||
| 搜索关键词： | 一种 周期性 多方 厚度 梯度 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州电子科技大学，未经杭州电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010657263.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
