[发明专利]基于中空AFM探针定域电沉积的增材制造装置及方法有效
| 申请号： | 202010660164.2 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111781402B | 公开（公告）日： | 2023-06-16 |
| 发明（设计）人： | 任万飞;许金凯;于化东;于占江;孙晓晴 | 申请（专利权）人： | 长春理工大学 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38;C25D1/00 |
| 代理公司： | 长春市吉利专利事务所(普通合伙) 22206 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 130022 吉林省*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 基于中空AFM探针定域电沉积的增材制造装置及方法，属于增材制造技术领域，包括隔振系统、增材制造装置主体、清洗缓冲液单元、精密定位系统、监测系统以及电极单元，本发明利用中空AFM探针定域电沉积技术可以实现金属微结构无掩模高定域性沉积，通过AFM悬臂的高精度力控制技术解放了Z轴高定位精度的压力，解决了高移动位移精度与防治堵塞和短路的耦合矛盾，真正意义上实现亚微米级金属三维悬臂结构的正向微增材制造，通过定域电化学技术整合微流体技术与AFM探针技术，完成电场定域性向给液定域性的转变，改变了无限缩小阳极尺寸的不切实际的想法，从而更加容易的实现了高定域性沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 中空 afm 探针 定域电 沉积 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
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