[发明专利]一种实现聚酰亚胺烧蚀或碳化的飞秒激光加工系统和方法有效
| 申请号： | 202010660498.X | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111922521B | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;闫剑锋;郭恒 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/064;B23K26/067;B23K26/70;C01B32/05 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 罗文群 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于飞秒激光应用技术领域，尤其涉及一种实现聚酰亚胺烧蚀或碳化的飞秒激光加工系统和方法。本发明利用放大极激光峰值功率高的特点对PI进行精密的烧蚀去除，又利用振荡级激光的热效应对PI进行碳化。本发明的系统可以对放大极飞秒激光和振荡级飞秒激光分别进行参数调整，从而实现对烧蚀过程和碳化过程的分别控制，互不干涉。利用本发明的系统，可以使飞秒激光对PI的加工效果在烧蚀去除模式和碳化模式之间快速灵活切换，根据需要实现烧蚀和碳化效果，一次搭建好光路系统后，加工过程中无需对光路系统进行调整。本发明具有光路系统调节方便、加工灵活性高、可加工结构范围广的优点，为制备PI表面微结构、碳基微电路提供了一种可行的方案。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 聚酰亚胺 碳化 激光 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
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