[发明专利]一种器件封装结构及制备方法在审
申请号: | 202010661755.1 | 申请日: | 2020-07-10 |
公开(公告)号: | CN111863753A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 魏启甫;王双福;林海立 | 申请(专利权)人: | 泓林微电子(昆山)有限公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L23/485;H01L25/16;H01L23/31;H01L21/56;H01L21/60 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215334 江苏省苏州市昆山市开发*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种器件封装结构及制备方法,包括芯片,芯材基体,正面重布线层,背面重布线层,垂直互连结构,模塑材料结构和设置在正面重布线层上的焊球;芯片包括芯片有源面和芯片晶背,芯片有源面一侧设置有芯片焊盘,正面重布线层设置在芯片有源面一侧,背面重布线层设置在芯片晶背一侧,垂直互连结构连接正面重布线层和背面重布线层,模塑材料结构设置在芯片与垂直互连结构之间。本发明利用扇出封装技术形成,在结构中集成了芯材基体,利用正面重布线层、背面重布线层、垂直互连结构的其中之一或者他们的组合,并结合芯材基体的电气特性可以形成无源器件,具有广阔的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 器件 封装 结构 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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