[发明专利]光学位置测量装置在审

专利信息
申请号: 202010662109.7 申请日: 2020-07-10
公开(公告)号: CN112212809A 公开(公告)日: 2021-01-12
发明(设计)人: W.霍尔扎普费尔;D.弗雷泽;C.林克 申请(专利权)人: 约翰内斯·海德汉博士有限公司
主分类号: G01B11/26 分类号: G01B11/26;G01D5/347
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张涛;刘春元
地址: 德国特劳*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于检测两个可相对彼此旋转运动的物体之间的旋转角的光学位置测量装置。围绕旋转轴旋转的光栅量具被构造为反射光栅;从对所述光栅量具的扫描中可以既获得关于所述光栅量具围绕所述旋转轴的方位旋转运动的位置信息又获得关于所述光栅量具的径向位移的位置信息。至少一个探测单元用于扫描旋转的光栅量具,以确定所述光栅量具的方位旋转角和所述光栅量具的径向位移。所述光栅量具的用于确定旋转角和位移的扫描的中立旋转点位于同一平面中,所述平面平行于所述光栅量具。所述中立旋转点表示以下位置,所述光栅量具或所述探测单元可以围绕该位置倾斜而没有位置偏移。
搜索关键词: 光学 位置 测量 装置
【主权项】:
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