[发明专利]一种压电式麦克风及其制备工艺在审
| 申请号： | 202010662477.1 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111669690A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 童贝;石正雨;沈宇;李杨 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/02 | 分类号： | H04R17/02;H04R1/28;H04R31/00 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 王海滨 |
| 地址： | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种压电式麦克风及其制备工艺，压电式麦克风包括具有背腔的基底和设于所述基底上的压电振膜，所述压电振膜包括固定于所述基底上的振膜层以及固定于所述振膜层上的压电单元，所述压电式麦克风还包括罩盖在所述振膜层上方的壳体，所述壳体和所述振膜层合围形成容置所述压电单元的收容腔，所述收容腔为真空环境。本发明可以增大压电单元的输出电压，提高压电式麦克风的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 麦克风 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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