[发明专利]纳米针阵列及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202010662482.2 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111943130B | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 杨扬;史鹏;张文军 | 申请（专利权）人： | 深圳市安瑞生物科技有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B1/00;A61M37/00 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 郝文婷 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种纳米针阵列及其制备方法和应用。本发明纳米针阵列制备方法包括的步骤有：在基底表面上形成待刻蚀基材膜层；在所述待刻蚀基材膜层表面形成用于刻蚀纳米针阵列的掩膜层；从所述掩膜层至所述基底的方向，对形成有所述掩膜层的所述待刻蚀基材膜层表面进行第一刻蚀处理，形成纳米柱阵列；对所述纳米柱阵列中的纳米柱的顶端进行第二刻蚀处理，在所述纳米柱顶端形成尖端结构，形成纳米针阵列。所述纳米针阵列所含的纳米针包括纳米针本体，在所述纳米针本体的针头部为尖端结构。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 阵列 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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