[发明专利]一种用于晶圆检测的除尘装置有效
| 申请号： | 202010662595.2 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111774353B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 李峰 | 申请（专利权）人： | 合肥千聚环保科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B13/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆检测的除尘装置，包括检测箱、集尘柜、承载台和除尘机构，检测箱的正面设置有箱门，且检测箱内设置有除尘机构，除尘机构包括第一电机、转轴、安装板、限位滑轮、刷板、刷毛，第一电机安装在检测箱的内部顶面上，且第一电机的输出端通过转轴与安装板的一端连接，安装板通过伸缩组件与刷板连接，刷板位于安装板的正下方，且刷板的底部设置有刷毛，检测箱内的下方设置有用于晶圆检测的承载台，承载台为圆形结构，且承载台的半径与刷板的长度相等，承载台上均匀设置有多组的除尘孔；本发明以刷板为半径可以对承载台表面均匀除尘，同时，通过伸缩组件对刷板进行收缩，从而减小除尘装置在检测箱内的占用的空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 除尘 装置 | ||
【主权项】：
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