[发明专利]一种用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法在审
| 申请号： | 202010663737.7 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN111879481A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 刘汝强;王殿春;王建新;窦松德;周清波 | 申请（专利权）人： | 山东国晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 孙倩文 |
| 地址： | 251200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于检测真空气相沉积炉渗水的检测方法，属于真空气相沉积炉技术领域，本发明只需要利用真空炉本身自带的设备通过压升率对其进行检测，无需其他辅助设备，利用正常使用状态下的压升率M1与无水状态下的压升率M2进行对比，当M1＞M2时，则可判断出该炉盖夹层的水对其压升率有影响，说明有渗水点；当M1≤M2时，则可确定该炉盖无渗水点。该方法可以快速、准确地去判断是否真空炉内是否渗水并判断出真空炉的渗水部件，从而有效的避免了拆炉而带来的，盲目且无效的劳动力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 空气 沉积 渗水 方法 | ||
【主权项】：
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