[发明专利]轴向沉积掺杂装置、粉末棒的制备方法有效
| 申请号： | 202010664962.2 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN113912279B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 郑垒垒;陆伟;严人杰;钱宜刚;沈一春 | 申请（专利权）人： | 中天科技精密材料有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/014 | 分类号： | C03B37/014 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 陈海云;许春晓 |
| 地址： | 226009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种轴向沉积掺杂装置和粉末棒的制备方法。该装置包括沉积腔体，悬挂于所述沉积腔体顶部中心处的吊杆，深入所述沉积腔体的吊杆自由端装有靶棒，和设置在所述沉积腔体内的沉积掺杂机构，所述沉积掺杂机构包括集成有第一碱金属雾化装置的第一喷灯，所述第一碱金属雾化装置与所述第一喷灯导通，所述第一喷灯朝向所述靶棒设置；或者所述沉积掺杂机构包括相向设置的第二喷灯和第二碱金属雾化装置，及围挡在所述第二喷灯和所述第二碱金属雾化装置周侧的第一内部腔体，所述第一内部腔体的开口朝向所述靶棒设置。该轴向沉积掺杂装置用于在进行管外气相沉积的同时进行掺杂碱金属，掺杂的均匀性高，掺杂量增加且可控，可降低光纤衰减。 | ||
| 搜索关键词： | 轴向 沉积 掺杂 装置 粉末 制备 方法 | ||
【主权项】：
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