[发明专利]一种特气柜系统及其抽真空的方法有效
| 申请号： | 202010666759.9 | 申请日： | 2020-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN111649235B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 吴启聪;喻正义;申元澈;唐双双 | 申请（专利权）人： | 阁壹系统集成设备（滁州）有限公司 |
| 主分类号： | F17C13/04 | 分类号： | F17C13/04;B08B9/032 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 239000 安徽省滁州市苏*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种特气柜系统及其抽真空的方法，包括抽真空系统，供气系统，吹扫系统和辅助管路系统，所述的抽真空系统与辅助管路系统配合连接；所述的供气系统分别与吹扫系统和辅助管路系统配合连接，通过真空系统先对特气柜系统进行抽真空，为保证特气柜系统内部残留的气体被完全抽出，然后利用吹扫系统充氮气进行管路吹扫，以抽真空‑充氮气‑抽真空的形式反复操作，至少10次以上，从而保证特气柜系统中的残留气体被完全抽出，防止残留气体的逃逸对操作人员或者空气造成危害，并保证特气柜在更换钢瓶时的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 特气柜 系统 及其 真空 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于阁壹系统集成设备（滁州）有限公司，未经阁壹系统集成设备（滁州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010666759.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种耐压板材
- 下一篇：基于磁悬浮装置的柱形塑料件缩孔缺陷检测方法
