[发明专利]一种纳米热红外显微术装置

摘要

本申请公开了一种纳米热红外显微术装置，用于实现样品材料红外吸光度纳米尺度高分辨显微成像，该装置包括纳米红外光热激励模块，用于产生并控制周期性脉冲红外激光，同时原位激发热探针与所述样品材料之间纳米尺度接触微区的光热效应信号；光热信号频域变换模块，用于实现微区光热效应诱导的周期性温度变化信号从时域向频域形式的转换；红外吸光度显微成像模块，用于实现原子力显微镜热探针原位检测纳米尺度光热基频信号，并显示所述样品材料红外吸光度微区面分布高分辨显微成像结果。本申请为与材料纳米尺度物相组成和结构分析密切关联的红外吸光度的显微成像提供了一种超高分辨原位表征装置。