[发明专利]一种具有柔性基底的尺寸可控的氧化锌基光电器件及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010667939.9 申请日: 2020-07-13
公开(公告)号: CN113937182A 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 李豪豪;吴雨辰;江雷 申请(专利权)人: 中国科学院理化技术研究所
主分类号: H01L31/102 分类号: H01L31/102;B82Y20/00;B82Y40/00;H01L31/0352;H01L31/0392;H01L31/18
代理公司: 北京正理专利代理有限公司 11257 代理人: 高东丽
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开一种具有柔性基底的尺寸可控的氧化锌基光电器件,包括金电极、柔性基底、以及分布在柔性基底上的氧化锌链状结构阵列;其中,所述氧化锌链状结构是由底面面积为0.9‑4.2μm2,高度为200‑500nm的氧化锌微柱连接形成的,相邻两个氧化锌微柱底面重叠部分的面积占底面面积的0.3%‑20%。该光电器件中的氧化锌链状结构阵列可以有效抑制暗电流,同时吸附更多的氧气,在光照条件下产生更大的光电流,具有较一般单晶氧化锌纳米线或纳米棒更高的开关比和响应率。且该光电器件的制备方法简单,成本低廉,具有大规模应用的潜力。
搜索关键词: 一种 具有 柔性 基底 尺寸 可控 氧化锌 光电 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
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