[发明专利]一种体声波滤波器及其制作方法和集成芯片在审
| 申请号： | 202010667952.4 | 申请日： | 2020-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN111969974A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 樊永辉;许明伟;樊晓兵;曾学忠 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇芯通信技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/64 |
| 代理公司： | 深圳市博衍知识产权代理有限公司 44415 | 代理人： | 曾新浩 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市华富街道莲花一*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种体声波滤波器及其制作方法和集成芯片，所述体声波滤波器包括衬底、压电层、上电极和下电极，所述压电层设置在所述衬底上，包括单晶氮化铝薄膜和中间层，所述中间层设置在所述衬底和单晶氮化铝薄膜之间，且所述中间层为所述单晶氮化铝薄膜提供生长环境，以减小所述衬底和单晶氮化铝薄膜之间的应力和晶体缺陷。采用单晶氮化铝薄膜作为压电层，将使体声波滤波器能够满足5G通信对更高的带宽和更好的性能的要求；另外，本申请还提出了减少或消除位错缺陷、晶圆翘曲和龟裂等缺陷的方法，制作高质量的单晶氮化铝压电层，进一步提高了体声波滤波器的性能、产品良率及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声波 滤波器 及其 制作方法 集成 芯片 | ||
【主权项】：
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