[发明专利]一种横向变掺杂终端结构及设计方法和制备方法在审
| 申请号： | 202010669592.1 | 申请日： | 2020-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN111755504A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 任敏;蓝瑶瑶;李吕强;郭乔;高巍;李泽宏;张波 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/266;G06F30/20 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 敖欢 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： |
本发明提供一种横向变掺杂终端结构及设计方法和制备方法，终端结构包括所述重掺杂第一导电类型半导体衬底1、所述第一导电类型半导体漂移区2和所述第二导电类型半导体终端区3。而它的制备方法也较为简单，先在所述第一导电类型半导体漂移区2上生长牺牲氧化层，然后关键步骤是根据最优的注入窗口宽度分布函数a(x |
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| 搜索关键词： | 一种 横向 掺杂 终端 结构 设计 方法 制备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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