[发明专利]一种多晶硅氢化反应器的封头缓压预警装置及其工作方法在审

专利信息
申请号: 202010672774.4 申请日: 2020-07-14
公开(公告)号: CN111943209A 公开(公告)日: 2020-11-17
发明(设计)人: 邵玉凌;李伯奎;滑小彤;李春朋;张锦程;倪震宇 申请(专利权)人: 淮阴工学院
主分类号: C01B33/03 分类号: C01B33/03
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 王美章
地址: 223003 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种多晶硅氢化反应器的封头缓压预警装置及其工作方法,装置包括:封头本体;减缓块,连接在所述封头本体内底部,所述减缓块呈水平放置,封头本体的圆弧球面与减缓块之间形成空腔结构;缓冲块,设置在所述空腔结构中,且位于所述减缓块的中间位置,所述缓冲块的底部与减缓块上表面连接,缓冲块的顶部与封头本体的圆弧球面之间设有弹性缓冲机构,所述封头本体的底部边缘设有多个导向用的锁孔,多个锁孔在封头本体的底部边缘上均匀间隔布置。
搜索关键词: 一种 多晶 氢化 反应器 封头缓压 预警 装置 及其 工作 方法
【主权项】:
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