[发明专利]一种MEMS热电堆红外探测器在审
| 申请号： | 202010672910.X | 申请日： | 2020-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN111896121A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 张琛琛;毛海央;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡物联网创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 解立艳 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新吴区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS热电堆红外探测器，将红外吸收层设置为纳米纤维森林复合结构，纳米纤维森林复合结构包括若干垂直于支撑层的纳米纤维及包覆于纳米纤维上方的红外吸收单元。红外吸收单元包覆于纳米纤维上方使红外吸收单元不易从支撑层脱落，提高了纳米纤维的稳定性，避免了红外辐射吸收效果及探测器检测效率的降低。同时，纳米纤维与红外吸收单元均具有吸收红外辐射的能力，将红外吸收单元包覆于纳米纤维上方，增强了红外吸收层的吸收效率，从而增强了探测器的检测效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 热电 红外探测器 | ||
【主权项】：
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