[发明专利]OLED阳极的制造方法、OLED显示装置及其制造方法有效
| 申请号： | 202010673032.3 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN111725432B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 钟尚骅;许文兴;钟明达 | 申请（专利权）人： | 紫旸升光电科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
| 代理公司： | 厦门加减专利代理事务所(普通合伙) 35234 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 215128 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭露一种OLED阳极的制造方法，包括：提供一基板，其具有并列独立设置的第一结构、第二结构、第三结构；于第一结构、第二结构、第三结构与基板表面形成透明导电层；进行第一次微影蚀刻制程，对位于第一结构正上方以外的透明导电层进行蚀刻以消减所述透明导电层的厚度；进行第二次微影蚀刻制程，对位于第一结构和第二结构正上方以外的透明导电层进行蚀刻以消减所述透明导电层的厚度；进行第三次微影蚀刻制程，去除位于第一结构、第二结构与第三结构正上方以外的透明导电层，进而在第一结构、第二结构与第三结构正上方分别形成不同厚度的第一透明导电层、第二透明导电层与第三透明导电层。由此，本发明的制造方法制程简便、成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | oled 阳极 制造 方法 显示装置 及其 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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