[发明专利]一种椭圆偏振测量设备及其聚焦方法和测量方法在审
| 申请号： | 202010673780.1 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN112540044A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;王秋实;张朝前;季鹏;王南朔;何柳;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/21 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 姚璐华 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种椭圆偏振测量设备及其聚焦方法和测量方法，聚焦方法包括：使探测光的偏振态保持不变，使信号光的偏振态保持不变，通过光源模块向待测物发射探测光，探测光经待测物形成信号光，通过检测模块获取待测物的待测区域与椭圆偏振测量设备处于沿聚焦方向的不同相对位置处的信号光的光信息值，并获得表征信号光的组合光强度最大的光信息值，将该光信息值对应的待测物与椭圆偏振测量设备的相对位置作为待测区域的聚焦位置。也就是说，本发明中利用椭圆偏振测量设备自身的光路和机构实现了自动聚焦，不仅能够实现+/‑0.1μm级别的高分辨率自动聚焦，而且无需引入高精度激光测距仪等新的测量设备，避免了引入新的测量设备导致的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 椭圆 偏振 测量 设备 及其 聚焦 方法 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳中科飞测科技股份有限公司，未经深圳中科飞测科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010673780.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
