[发明专利]一种子孔径拼接干涉测量方法和装置有效
| 申请号： | 202010675574.4 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN111811429B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 胡摇;郝群;王臻 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市中闻律师事务所 11388 | 代理人： | 冯梦洪 |
| 地址： | 100081 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种子孔径拼接干涉测量方法和装置，方法包括：(1)构建子孔径拼接干涉测量装置，使干涉仪与被测镜对心放置，干涉仪的出射光照射在被测镜中心子孔径区域，干涉仪采集的条纹图像满足干涉测量的要求；(2)使用干涉仪对被测镜中心子孔径区域面形进行检测并保存检测结果；(3)加入偏振光栅和λ/4波片，根据实际测量需求调整空间位置、偏转角度及俯仰角度；(4)旋转偏振光栅，使测量光依次照射被测镜除中心子孔径外其余各子孔径区域，完成对被测镜各子孔径区域的面形检测并保存结果；(5)如未覆盖被测镜全口径，换用空间周期更小的偏振光栅重复步骤(3)及(4)，以测量被测镜更外圈子孔径区域；(6)对多次检测结果拼接，得到被测镜的全口径面形。 | ||
| 搜索关键词： | 种子 孔径 拼接 干涉 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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