[发明专利]一种基于云计算的PVT法长晶系统自动预警系统在审
| 申请号： | 202010675666.2 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN111778551A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 荣玲 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于云计算的PVT法长晶系统自动预警系统。本发明首先需要工程师输入工艺参数到长晶系统，检测到系统采集系统相关的数据参数，并作为数据源上传到数据计算中心，计算中心将原始数据包装后进行集中存储，分别存储在本地磁盘和云端空间，并上传至用户端查看。然后，数据计算中心对数据进行分析对比后，如果有异常或者风险，则生成预警报告上传至用户端和客户端，并引发现场鸣警，用来提醒现场工程师及时处理异常情况，最后工程师通过参数调整或设备检查来排除故障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 计算 pvt 晶系 自动 预警系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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