[发明专利]一种三明治式MEMS器件结构在审
| 申请号： | 202010676881.4 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN111908419A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 张乐民;刘福民;刘国文;刘宇;杨静;高乃坤;张树伟;梁德春 | 申请（专利权）人： | 北京航天控制仪器研究所 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 张欢 |
| 地址： | 100854 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种三明治式MEMS器件结构，包括衬底电极层、结构层、盖板层。衬底电极层通过第一键合层与结构层键合，结构层通过第二键合层与盖帽层键合；衬底电极层上加工若干衬底电极，盖帽层上加工若干盖板电极，结构层上加工质量块、锚区及弹簧梁、激励电极、拾振电极；衬底电极层包括绝缘层等，质量块通过锚区及弹簧梁和质量块电极引线引出，激励电极、拾振电极分别通过衬底电极层上的对应的激励电极引线和拾振电极引线引出；本发明中质量块上下双侧电极结构即三明治式结构的设计，能避免质量块在其与衬底电极间的静电力以及应力的作用下，偏离平衡位置，从而使器件具有更好的一致性和温度稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三明治 mems 器件 结构 | ||
【主权项】：
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