[发明专利]一种镀膜治具和镀膜装置在审
| 申请号： | 202010679166.6 | 申请日： | 2020-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN111733396A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 马奔希;陈晨;朱乾成;周剑;沈章大 | 申请（专利权）人： | 苏州迈为科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴江区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜治具和镀膜装置，镀膜治具包括框体，所述框体具有四个侧边，所述侧边包括：侧边本体、由所述侧边本体向所框体内延伸的凸起，各所述侧边本体在所述凸起的一侧围成膜片空间，各所述凸起用于承接所述膜片空间内的膜片；所述侧边本体朝向所述膜片空间的一侧上形成第一斜面，所述膜片搭设在各所述凸起上时，所述膜片的边缘与所述侧边本体的第一斜面与之间形成间隙。膜片搭设在四个凸起上时，膜片的边缘与第一斜面之间形成间隙，在进行镀膜时，膜片边缘与第一斜面之间具有间隙便于真空镀膜的进行，提升膜片边缘的镀膜速率，进而提升膜片整体的镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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