[发明专利]一种BMN多层介质薄膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种BMN多层介质薄膜及其制备方法，属于微电子技术领域。本发明提供的制备方法，包括以下步骤：将Nb2O5、氢氟酸和氨水混合，进行沉淀反应，得到氢氧化铌沉淀；将所述氢氧化铌沉淀、柠檬酸和水混合，进行络合反应，得到铌‑CA溶液；将所述铌‑CA溶液、硝酸铋、硝酸镁、柠檬酸和水混合，进行络合反应，得到BMN前驱体溶胶；利用激光脉冲沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si基片的表面沉积MgO，得到MgO仔晶层；将所述BMN前驱体溶胶涂覆在所述MgO仔晶层的表面后，在氧气条件下，进行退火热处理，得到单层薄膜；将所述单层薄膜重复所述涂覆和退火热处理过程，得到BMN多层介质薄膜。