[发明专利]一种具有隔振板的MEMS器件在审
| 申请号： | 202010684750.0 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN112299361A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 姚志超;瓦伦蒂娜·泽加;苏岩;张晶;阿尔贝托·科里利亚诺 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学;米兰理工大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 马鲁晋 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有隔振板的MEMS器件，包括隔振板，以及设置于隔振板中心处的至少一个谐振元件。其中，隔振板包括围绕所述至少一个谐振元件的平面周期结构。平面周期结构包括多个相邻单元，每个单元均包括悬挂的质量元件，质量元件通过弹簧元件连接于单元的外框架，可沿各个空间方向移动。本发明的MEMS器件能够提高其MEMS谐振器的性能，可更有效地隔离MEMS器件与外界干扰振动，且对工艺变化和环境条件具有鲁棒性，能够广泛应用。此外，本发明的技术方案与标准MEMS制造技术相兼容，隔振板可以和MEMS器件通过标准MEMS制造工艺一同加工制造，制备方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 隔振板 mems 器件 | ||
【主权项】：
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