[发明专利]一种剪切波模式的声表面波谐振式检测器在审
| 申请号： | 202010685427.5 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN111879853A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 刘久玲;洪力;刘明华;何世堂;孔银鸽;郝俊杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/036;G01N29/24 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 陈琳琳;杨青 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种剪切波模式的声表面波谐振式检测器，包括基片(1)和设置在其上的三换能器双端对谐振器结构；所述基片(1)的材料为能够激发剪切波模式声表面波的压电材料；所述三换能器双端对谐振器结构包括第二叉指换能器(3)、在所述第二叉指换能器(3)的两侧平行设置的第一叉指换能器(2)和第三叉指换能器(4)、在所述第一叉指换能器(2)的另一侧平行设置的第一周期栅阵(5)、以及在所述第三叉指换能器(4)的另一侧平行设置的第二周期栅阵(6)。与传统瑞利波模式检测器相比，本发明的声表面波检测器具有更高的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 剪切 模式 表面波 谐振 检测器 | ||
【主权项】：
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