[发明专利]制造带电粒子检测器的方法在审
| 申请号： | 202010686356.0 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN112242284A | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | B·J·詹森;P·多纳 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;申屠伟进 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造带电粒子检测器的方法，其包括以下步骤：提供诸如有源像素传感器（APS）之类的传感器设备。所述传感器设备至少包括衬底层和敏感层。该方法进一步包括以下步骤：提供机械支撑层并且将所述机械支撑层连接到所述传感器设备。在连接之后，敏感层位于所述衬底层与所述机械支撑层之间。通过连接机械支撑层，有可能减薄所述衬底层以用于形成所述带电粒子检测器。机械支撑层形成制造的检测器的一部分。该检测器可以被用于带电粒子显微镜，诸如用于进行直接电子检测的透射电子显微镜。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 带电 粒子 检测器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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