[发明专利]位姿检测方法及系统有效
| 申请号： | 202010686564.0 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN111906043B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 彭明;杨延竹;柳俊先;刘春燕;于波;张华;尹程斌 | 申请（专利权）人： | 深圳市格灵人工智能与机器人研究院有限公司;深圳市格灵人工智能与机器人研究院 |
| 主分类号： | B07C5/34 | 分类号： | B07C5/34;B07C5/10;B07C5/36;B07C5/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 黄广龙 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种位姿检测方法及系统。其中，位姿检测方法，包括：测待检测元件并生成检测信号；通过所述检测信号触发二维检测器件并对所述待检测元件的位置信息、姿态信息进行检测；测所述待检测元件的立体信息；据所述姿态信息、所述立体信息判断所述待检测元件是否为不良元件，并生成不良元件的位置信息；根据所述不良元件的位置信息对所述不良元件进行剔除。上述位姿检测方法通过检测半导体器件表面的参数，从而有效地检测半导体器件是否符合标准。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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