[发明专利]一种泄压式半导体石墨坩埚

摘要

本发明公开了一种泄压式半导体石墨坩埚，包括底座，所述底座的顶部设置有石墨坩埚，所述石墨坩埚的外侧设置有多组吸热片，所述石墨坩埚一侧的顶部设置有安装仓，且安装仓的一侧处于石墨坩埚的内部，所述安装仓内部的一侧设置有安装杆，所述安装杆外侧的一侧套设有弹簧B，所述安装杆外侧的中间套设有滑动板，所述安装杆外侧远离弹簧B的一侧套设有封气头，所述封气头与滑动板之间设置有弹簧A，所述安装仓顶部的两侧对称设置有泄压孔；本发明装置通过弹簧A、封气头、安装仓、泄压孔和进气口的配合下，能够对石墨坩埚的内部进行泄压，防止石墨坩埚内部由于气压过大而造成损伤。