[发明专利]一种用于激光光束形态及质量的控制装置及方法在审

专利信息
申请号: 202010687298.3 申请日: 2020-07-16
公开(公告)号: CN111929911A 公开(公告)日: 2020-11-13
发明(设计)人: 汪于涛;王丽;骆公序;袁山山;沈佳骏;董岿然 申请(专利权)人: 上海市激光技术研究所
主分类号: G02B27/09 分类号: G02B27/09;G02B27/28;G02B27/10;G02F1/13
代理公司: 上海九泽律师事务所 31337 代理人: 周云
地址: 200233 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及激光应用领域,具体涉及一种用于激光光束形态及质量的控制装置及方法。该控制装置包括激光光源、扩束镜、第一反射镜、第二反射镜、起偏器、空间光调制器、检偏器、第一透镜、分束镜、第二透镜、第三反射镜、第三透镜、CCD相机和电脑。该控制方法首先将处理好的混合全息图加载到空间光调制器上,调整好入射光束的偏振角度后,入射到空间光调制器上并发生反射,通过控制混合全息图的灰度值调节反射率。利用4f系统将空间光调制器近场的像传递到工作台表面用于加工,同时使用分光镜把整形光通过第二4f系统传递到CCD相机中进行观察。本发明利用空间光调制器波前调制特性,结合波前反馈技术,操作简单,使用灵活,是一种高效、高质量的激光整形技术。
搜索关键词: 一种 用于 激光 光束 形态 质量 控制 装置 方法
【主权项】:
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