[发明专利]一种用于产生180nm-290nm深紫外光的方法在审
| 申请号： | 202010687754.4 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN111897135A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 刘云俊 | 申请（专利权）人： | 江苏维福特科技发展股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/28 | 分类号： | G02B27/28;G02F1/355;G02F1/35;G02B1/115 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 邓丽;王伟 |
| 地址： | 224200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于光电技术和医疗器械领域，具体涉及一种用于产生180nm‑290nm深紫外光的方法，依次包括：激光器、准直镜、偏振风光棱镜、倍频晶体、四分之一波片和石英玻片，各元件的中心轴线对齐；所述偏振风光棱镜下方设有全反射镜。本发明通过调整输入光的偏振状态，将部分泄漏的圆偏振状态的输入光再次反射回光路中，进一步利用，从而实现输入光的最大化利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 产生 180 nm 290 深紫 方法 | ||
【主权项】：
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