[发明专利]张网装置及其张网方法有效
| 申请号： | 202010689125.5 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111733382B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 耿鹏飞;张洪博;徐兵;孙启峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种张网装置及其张网方法，通过滑块在第一导轨上移动带动移动支架在第二导轨上移动，相当于将滑块在XY平面内的位移转换为移动支架在Z向上的位移，充分利用较大的水平向空间，简化了机械结构从而提高了稳定性，进而提高了掩模板框架的交接安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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